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平板扫描式原子力显微镜FM-Nanoview LSCL-AFM
产品介绍
◆实现探针和样品组合式移动扫描的商业化原子力显微镜; ◆采用三轴独立闭环压电平移式扫描台,实现大范围高精度扫描; ◆ 三轴独立式扫描,XYZ互不影响,非常适合三维材料及形貌检测; ◆ 电动控制样品移动台和升降台,可任意编程多点位置实现快速自动化检测; ◆ 龙门架式扫描头设计,大理石底座,真空吸附和磁性吸附式载物台; ◆ 闭环压电扫描台无需非线性校正,纳米表征和测量精度优于99.5%。 技术参数
应用案例
砷化镓晶圆/扫描范围0.9µm×0.9µm/Sa=2.15nm,Sq=2.69nm |
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