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平板扫描式原子力显微镜FM-Nanoview LSCL-AFM

SKU: FM-Nanoview LSCL-AFM

产品介绍

 

实现探针和样品组合式移动扫描的商业化原子力显微镜

采用三轴独立闭环压电平移式扫描台,实现大范围高精度扫描;

三轴独立式扫描,XYZ互不影响,非常适合三维材料及形貌检测;

电动控制样品移动台和升降台,可任意编程多点位置实现快速自动化检测;

龙门架式扫描头设计,大理石底座,真空吸附和磁性吸附式载物台;
马达自动控制加压电陶瓷自动探测的智能进针方式,保护探针及样品;
高倍辅助光学显微定位,实时观测与定位探针以及样品扫描区域;

    闭环压电扫描台无需非线性校正,纳米表征和测量精度优于99.5%

技术参数

 

工作模式 接触模式、轻敲模式 样品重量 ≤0.5Kg
选配模式 摩擦力/侧向力、振幅/相位、磁力/静电力 Z升降台 步进电机驱动控制,最小步长10nm
力谱曲线 F-Z力曲线、RMS-Z曲线 Z升降行程 15mm(可选20mm,25mm)
XY扫描方式 样品驱动式扫描,闭环压电平移式扫描台 光学定位 5X光学物镜(可选10X/20X物镜)
Z扫描方式 探针驱动式扫描 摄像头 500万像素数字CCD
XY扫描范围 闭环100×100um 扫描速率 0.6Hz~30Hz
Z扫描范围 5um 扫描角度 0~360°
扫描分辨率 闭环XY向0.5nm,Z向0.05nm 运行环境 Windows XP/7/8/10操作系统
XY样品台 步进电机驱动控制,移动精度1um 通信接口 USB2.0/3.0
XY移动行程 100×100mm(可选200×200mm,300×300mm) 仪器结构 龙门架式扫描头,大理石底座
样品载物台 直径100mm(可选200mm,300mm) 减震方式 弹簧悬挂式(可选主动式减震台)

应用案例

  蓝宝石外延片.png表格1.png  平板扫描1.png

 

    蓝宝石外延片/扫描范围1µm×1µm/Sa=1.7nm,Sq=2.08nm

   砷化镓晶圆.png表格2.png  平板扫描2.png

   砷化镓晶圆/扫描范围0.9µm×0.9µm/Sa=2.15nm,Sq=2.69nm 


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