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自由曲面三维面型检测系统
产品介绍产品功能: 光学元件表面的三维面型测量、 面型逆向和面型轮廓精度质量评价 检测对象: 自由曲面反射镜、曲面盖板玻璃、 玻璃面板、透镜、精密模具、 晶圆硅片等 面向行业: HUD、AR、精密光学及 3D 曲面 玻璃等领域生产企业或研发机构 技术特点: 1、自由曲面反射镜及其它光学元件表面的光学非接触、全场 3D 轮廓测量。 2、测量过程简单,无需精密调整样品姿态, 单件测量时间一般小于 20 秒;检测效率远远优于三坐标和UA3P 等接触式三维检测设备,适合用于自由曲面光学面的全检。 3、基于 CAD 模型或者方程式的三维面型数据比对分析,可自动完成面型质量评价,输出信息完善:包含完善的 3D 误差分布图、上下公差比例计算、PV 和 RMS 值、3D 显示、曲率分析、斜率误差以及凹凸分析。
4、完备的拟合分析:xy 多项式、Zernike、Legendre 拟合分析,可用于自由曲面零件的三维逆向分析以及注塑缺陷工艺分析。 5、丰富的 2D、3D 表面瑕疵分析功能:可以分析麻点,划痕,刀纹,流纹以及塌边等常见的注塑缺陷。可以提供暗场缺陷分析。可以根据用户需求开发统计功能。
6、丰富的线性尺寸分析功能,可以分析整体线性尺寸和缺陷尺寸,并输出报告。 7.单点车刀痕纹理误差的三维定量分析,用于零件和模具表面彩虹纹和刀纹三维定量分析单点车反射镜面型误差测量结果(和激光干涉仪比较)PV=0.45um
8完善的测量输出功能(测量原始数据输出、可订制化检测报告输出以及 Log 统计文件输出),可根据用户需求订制输出报告的内容格式。 技术参数技术参数:
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