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原子力显微镜光学一体机 FM-Nanoview Op-AFM
产品介绍
◆ 同时具备光学显微镜和原子力显微镜成像功能,两者可同时工作,互不影响 ◆ 同时具备光学二维测量和原子力显微镜三维测量功能 ◆ 激光检测头和样品扫描台集成一体,结构非常稳定,抗干扰性强 ◆ 超高倍光学定位系统,实现探针和样品扫描区域精确定位
技术参数
应用案例
GaN衬底/扫描范围3µm×3µm 单晶硅金字塔/扫描范围30µm×30µm
微米光栅/扫描范围30µm×30µm MoTe/扫描范围16µm×16µm 包装清单
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