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原子力显微镜光学一体机 FM-Nanoview Op-AFM

SKU: FM-Nanoview Op-AFM

产品介绍

 

 

 光学金相显微镜原子力显微镜一体化设计,功能强大

 同时具备光学显微镜和原子力显微镜成像功能,两者可同时工作,互不影响

 同时具备光学二维测量和原子力显微镜三维测量功能

 激光检测头和样品扫描台集成一体,结构非常稳定,抗干扰性强
 精密探针定位装置,激光光斑对准调节非常简便
 单轴驱动样品自动垂直接近探针,使针尖垂直于样品扫描
 马达控制加压电陶瓷自动探测的智能进针方式,保护探针及样品

 超高倍光学定位系统,实现探针和样品扫描区域精确定位
 集成扫描器非线性校正用户编辑器,纳米表征和测量精度优于98%

 

技术参数

 

工作模式 接触模式、轻敲模式 光学目镜 10X
选配模式 摩擦力/侧向力、振幅/相位、磁力/静电力 照明方式 LED柯勒照明系统
力谱曲线 F-Z力曲线、RMS-Z曲线 光学调焦 粗微动手动调焦
XY扫描范围 50×50um,可选20×20um,100×100um 摄像头 500万像素CMOS传感器
Z扫描范围 5um,可选2.5um,10um 显示屏 10.1寸平板显示器,带图像测量功能
扫描分辨率 横向0.2nm,纵向0.05nm 扫描速率 0.6Hz~30Hz
样品尺寸 Φ≤68mm,H≤20mm 扫描角度 0~360°
样品台行程 25×25mm 运行环境 Windows XP/7/8/10操作系统
光学物镜 5X/10X/20X/50X平场复消色差物镜 通信接口 USB2.0/3.0

 应用案例 

   GaN衬底扫描范围3µm×3µm.png      单晶硅金字塔.png  扫描范围30µm×30µm.png

 

           GaN衬底/扫描范围3µm×3µm                                              单晶硅金字塔/扫描范围30µm×30µm

 

    微米光栅.png         MoTe.png    扫描范围16µm×16µm.png

    微米光栅/扫描范围30µm×30µm                                                MoTe/扫描范围16µm×16µm

包装清单

 


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