镜面外观缺陷检测系统

SKU: FM-DVM

产品介绍

产品简介：

晶圆、基片及精密光学元件表面缺陷自动筛查和量测

检测对象：

晶圆片、盖板、基片、精密光学元件（平晶，棱镜，玻片等）

面向行业：

半导体晶圆生产、3C盖板及光学基片、光学抛光加工

技术参数：

Ø 缺陷最大检测口径300X200mm （覆盖8寸晶圆，可订制12寸晶圆机台）

Ø 缺陷检测分辨率最高0.5um

Ø 缺陷检测类型：麻点、划痕、纹理、异色、破边等

Ø 自动缺陷识别及尺寸量测

Ø 手动上下片，支持半自动和自动上下片的开发

Ø 技术特点

Ø 采用多模式成像确保各种不同类型的缺陷能够被检测

Ø 可以按照20/10、40/20、60/40标准对缺陷进行量测判定

Ø 软硬件可以按照实际样品检测需求进行订制

可附带增加检测基片三维翘曲功能

◆ 测量实例

麻点和划痕.jpg

麻点和划痕表面纹理


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