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三维测量显微镜
产品介绍产品简介： 表面微观三维结构测量，表面三维粗糙度非接触测量 检测对象： 精密光学元件，微纳加工器件，金属机加工零件 面向行业： 半半导体，汽车，太阳能，精密光学等从事表面分析的各类科研院所及企业 技术参数技术参数： 1.纵向测量重复性: 0.5nm （PSI 模式） 纵向分辨率： 2nm 2.纵向测量范围：15mm 3.高度测量示值误差： <3% 4.配备超高横向分辨率测量功能（横向分辨 100nm） 5.丰富的三维特征分析软件和粗糙度分析功能 6.采用抗震性硬件结构和软件算法设计 测量实例
VLSI纳米台阶标准块三维测量结果 磨削加工表面三维微观结构测量
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FM-AR532/AR785原子力显微镜与激光拉曼光谱仪一体机 对纳米材料表面形貌、颗粒度、粗糙度和拉曼光谱性能进行表征、分析 |
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FM-Nanoview1000AFM 分体式原子力显微镜 带光学定位的CCD观测系统，实时观测与定位探针样品扫描区域 |
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FM-Nanoview6800一体式原子力显微镜 开启全民原子力显微镜时代，扫描范围更广，定位更精确 |
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自由曲面三维面型检测系统 |
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原子力显微镜（环境控制型）FM-Nanoview EC-AFM |
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原子力显微镜光学一体机 FM-Nanoview Op-AFM |
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