技术参数：
1.纵向测量重复性: 0.5nm （PSI 模式） 纵向分辨率： 2nm
2.纵向测量范围：15mm
3.高度测量示值误差： <3%
4.配备超高横向分辨率测量功能（横向分辨 100nm）
5.丰富的三维特征分析软件和粗糙度分析功能
6.采用抗震性硬件结构和软件算法设计
测量实例
VLSI纳米台阶标准块三维测量结果 磨削加工表面三维微观结构测量
注意事项：
仪器成套性与可选购件可参考产品原页面，本页只提供仪器核心技术参数。
产品价格均含有商品运费（大陆地区除外）及发票的价格但是不包含工程师上门培训及调试的费用。
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