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平板扫描式原子力显微镜FM-Nanoview LSCL-AFM
SKU: FM-Nanoview LSCL-AFM
工作模式
接触模式、轻敲模式
样品重量
≤0.5Kg
选配模式
摩擦力/侧向力、振幅/相位、磁力/静电力
Z升降台
步进电机驱动控制，最小步长10nm
力谱曲线
F-Z力曲线、RMS-Z曲线
Z升降行程
15mm（可选20mm，25mm）
XY扫描方式
样品驱动式扫描，闭环压电平移式扫描台
光学定位
5X光学物镜（可选10X/20X物镜）
Z扫描方式
探针驱动式扫描
摄像头
500万像素数字CCD
XY扫描范围
闭环100×100um
扫描速率
0.6Hz~30Hz
Z扫描范围
5um
扫描角度
0~360°
扫描分辨率
闭环XY向0.5nm，Z向0.05nm
运行环境
Windows XP/7/8/10操作系统
XY样品台
步进电机驱动控制，移动精度1um
通信接口
USB2.0/3.0
XY移动行程
100×100mm（可选200×200mm，300×300mm）
仪器结构
龙门架式扫描头，大理石底座
样品载物台
直径100mm（可选200mm，300mm）
减震方式
弹簧悬挂式（可选主动式减震台）
应用案例
蓝宝石外延片
/
扫描范围
1µm×1µm/Sa=1.7nm,Sq=2.08nm
砷化镓晶圆
/
扫描范围
0.9µm×0.9µm/Sa=2.15nm,Sq=2.69nm
注意事项：
仪器成套性与可选购件可参考产品原页面，本页只提供仪器核心技术参数。
产品价格均含有商品运费（大陆地区除外）及发票的价格但是
不包含
工程师上门培训及调试的费用。
科信不保证网站展示产品的时效性,部分仪器可能已升级,保留最终解释权。
科信报价：￥0.00