大平台显微激光拉曼光谱仪

SKU: FM-Op- Ra-MX

产品介绍

产品简介：

本仪器是一款可以对样品进行目镜观察、相机成像、拉曼光谱检测以及拉曼光谱成像等功能的集成化拉曼光谱仪。

仪器由拉曼光谱仪、拉曼共焦模块、大平台检测显微镜等构成。

特点：

1.全新的MX大平台检测显微镜，最大支持300mm晶圆及17英寸液晶面板的检查，含4、6、8、12英寸多种转盘，可适用不同尺寸的晶圆检查。

2.可以同时插入三个不同波长的拉曼光谱仪检测模块，并且可在软件上进行不同光谱仪间的切换，即可实现多波长拉曼的快速自动检测。

3.可支持405nm、532nm、633nm、785nm、830nm、1064nm等多个波长，且可搭配不同性能的光谱仪，如非制冷、制冷、深度制冷等，以满足客户对不同样品、检测精度的不同需求。

4.若选配自动平台，还可以实现自动点扫描进行高光谱成像。

显微镜参数：

拉曼光谱仪参数：


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