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CMY-420科研级三目正置大平台金相显微镜半导体晶圆材料分析 无限远光学系统 系统配置了大尺寸、大范围移动载物台，适合大工件的检查

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产品介绍

 

特点：

1、采用优良的无限远光学系统成像清晰并配有直径22mm的大视野目镜。

2、系统配置了大尺寸、大范围移动载物台，适合大工件的检查。

3、两路光路自由切换输出，一路用于观察，一路连接摄像装置。

4、配置了偏光装置并可选配暗场、微分干涉装置，拓展了功能

技术参数

 

显微镜参数：

 

序号

名称

技术参数

1

平场目镜

大视野 WF10X(Φ22mm)

2

无限远长距平场物镜

PL L5X/0.12   工作距离：26.1 mm

PL L10X/0.25  工作距离：20.2 mm

PL L20X/0.40  工作距离：8.80 mm

PL L50X/0.70  工作距离：3.68 mm

PL L80X/0.80  工作距离：1.25 mm

3

总放大倍数

50X-800X

4

观察头

三目镜,倾斜30˚,(内置检偏振片,可进行切换)

5

转换器

五孔 (外向式滚珠内定位) 

6

粗微调调焦范围

粗微动同轴调焦, 微动格值0.7μm, 粗动松紧可调,带锁紧和限位装置

7

载物台

机械式载物台，外形尺寸：280mmX270mm，移动范围：横向（X）204mm，纵向（Y）204mm

8

光瞳距离

53-75mm

9

滤色片

(黄、蓝、绿、磨砂玻璃)滤色片转换装置

10

偏光装置

推拉式检偏器与起偏器

11

落射照明系统

6V30W卤素灯,亮度可调内置视场光栏、孔径光栏
 

12

仪器重量

净重11.0公斤    毛重12.5公斤

13

仪器尺寸

仪器尺寸44X45X42（cm） 包装尺寸45X50X50(cm)

 

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