CM120BD-AF研究级电动12寸大平台半导体检查显微镜采用电动物镜转换器，支持软件及按钮双控，配置12寸大平台，带快速移动装置，配置有偏光装置

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产品介绍

产品概述

研究级电动12寸大平台半导体检查显微镜CM120BD广泛应用于芯片/晶圆/LCD，粒子爆破检查等行业使用。采用半复消技术，集明场，暗场及偏光等多种照明方式，任何观察都能呈现清晰锐利的显微图像，其微分干涉效果可与进口品牌相媲美。用户可根据实际应用进行功能选择，是工业检测的有效工具。机器采用电动转换器，物理按钮和软件双控，进行远位数调节，12寸大工作平台特别是针对线路板切片测量，晶圆检测，金相材料，高分子材料等尺寸较大的样器进行分析检测，本机配备了偏振系统可做偏光检测，在半导体和PCB检测中，可消除杂光，细节更加清晰。同时可以选配DIC干涉附件插入DlC棱镜，可进行DIC微分干涉相衬观察。DIC技术可以使物体表面微小的高低差产生明显的浮雕效果，大幅提高图像对比度，特别适合观察导电粒子。

性能特点

1、采用电动物镜转换器，支持软件及按钮双控。

2、配置12寸大平台，带快速移动装置。

3、配置有偏光装置，适合观察高反光材料的表面；

4、采用高亮度10WLED照明，观察舒适使用寿命长，不发热。

技术参数

显微镜参数

序号	名称	技术参数
1	平场目镜	正像大场高眼点目镜PL10X/25mm
2	物镜	无限远长工作距明场半复消色差金相物镜2.5X NA0.08 WD9.2 （选购）无限远长工作距明暗场半复消色差金相物镜5X NA0.15 WD15 无限远长工作距明暗场半复消色差金相物镜10X NA0.30 WD8.4 无限远长工作距明暗场半复消色差金相物镜20X NA0.40 WD11.9 无限远长工作距明暗场半复消色差金相物镜50X NA0.75 WD3.0 无限远长工作距明暗场半复消色差金相物镜100X NA0.90 WD1.0（选购）
3	光学放大倍数	50X-500X（选购100倍物镜后放大倍数25-1000X）
4	数码放大倍数	75-3000X(搭配1200万相机及100倍物镜，显示器22英寸情况下)
5	观察头	铰链三通观察筒，瞳距调节：50mm~76mm，两档分光比双目:三目=100：0
6	5孔编码型明暗场物镜转换器（带DIC插槽）	编码型物镜转换器将显微镜的硬件设置与图像分析软件整合在一起。屏幕上显示物镜的放大倍率，同时切换倍率时也能自动调整软件中记录的校准值，杜绝忘记切换软件倍率造成的测量错误.
7	调焦机构	反射用机架, 低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程35mm,微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。
8	载物台	12英寸载物台，平台面积 760430mm，玻璃台面310418mm，移动行程：300mmX300mm机械平台，X、Y方向同轴调节；含快速移动装置
9	晶圆转台	12寸通用晶圆转台（选购）
10	偏光组件	起偏镜插板，360°旋转式检偏镜插板
11	反射照明系统	明暗场反射照明器，带可变孔径光阑，视场光阑，中心可调，带滤色片插槽，带起偏镜/检偏镜插槽，10W可调LED灯室，透、反射通用，预定中心
13	聚光镜	摇出式消色差聚光镜（N.A.0.9）
14	摄像接口	0.65倍专用摄像接口
15	干涉组件	诺曼尔斯基微分干涉片（选购）
16	显微镜工业相机	高清1200万显微相机或2000万像素或自动对焦相机（选购）
17	图像处理软件	拍照，录像，测量，实时图像拼接，景深融合等（选购）
18	标尺	高精度型测微尺，格值0.01m 总长1mm（选购）


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CM120BD-AF研究级电动12寸大平台半导体检查显微镜 采用电动物镜转换器，支持软件及按钮双控，配置12寸大平台，带快速移动装置，配置有偏光装置

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