MX4RT微分干涉工业检测显微镜金相显微镜 /工业检测显微镜/微分干涉显微镜

SKU: MX4RT

产品介绍

产品简介：

MX4RT微分干涉显微镜具备明场观察，偏光观察以及DIC观察三种观察模式，可以观察FOGCCOG爆破粒子状态结构。

产品性能特点：

MX4RT为新型FPD检查显微镜，专为LCD行业/ TFT玻璃/COG导电粒子压痕、粒子爆破检查

MX4RT采用6寸平台设计，可适用于相应尺寸的晶圆或小尺寸样品的金相检查

MX4RT采用长工作距物镜、半复消色差技术，多层宽带镀膜技术，采用长寿命LED光源。

序号	名称	技术参数
1	平场目镜	大视野PL10X/22mm
2	金相物镜	无限远长工作距平场消色差金相物镜5X-DIC，WD=10.8mm，NA=0.15
		无限远长工作距平场消色差金相物镜10X-DIC，WD=12.2mm，NA=0.30
		无限远长工作距平场消色差金相物镜20X-DIC，WD=4mm，NA=0.45
		无限远长工作距平场消色差金相物镜50X，WD=7.9mm NA=0.55
3	总放大倍数	50X-500X
4	观察头	铰链式三目，30°倾斜，分光比：三目50%/50%
6	调焦机构	透反机架，前置低手位粗微调同轴调焦机构，粗调每转行程：30mm，微调精度：0.001mm，带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置，内置5WLED透射光照明系统，上下光可独立控制
7	载物台	6英寸三层机械移动平台，低手位X\Y方向同轴调节，平台面积445mmX240mm，移动范围：158mmX158mm，玻璃载物平台
8	偏光附件	检偏镜可360度旋转，起偏镜和检偏镜均可移出光路
9	摄像接口	0.5X摄像接口，C型接口
10	照明系统	宽电压100V~240V，5W暖色LED落射光照明系统，带视场光阑与孔径光阑，中心可调。


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