Micro-VU Excel 650系列影像测量仪
技术参数
型号 |
Excel651UM |
Excel651UC |
Excel652UM |
Excel652UC |
Excel654UM |
Excel654UC |
量测行程 |
650x650x160mm |
650x650x250mm |
650x650x400mm |
外形尺寸 |
1311x1604x1608mm |
1311x1604x1788mm |
1311x1604x2088mm |
重量 |
1530kg |
1550kg |
1550kg |
承载重量 |
100kg |
100kg |
100kg |
平臺材质 |
钢构 |
基座材质 |
花岗岩 |
传动方式 |
Unique X&Y Monorail, Monorail Linear Z |
电控系统 |
伺服系统: CNC, 滑鼠, 摇杆 |
电源系统 |
93-264 VAC, 47-63 Hz,最大10 Amp |
XY 精度 |
Uxy=2.5+L/300μm |
Uxy=2.8+L/300μm |
Uxy=3.2+L/300μm |
Z 精度 |
Ux=2.5+L/150μm |
Ux=3.0+L/150μm |
Ux=3.5+L/150μm |
XY 重现性 |
2.5μm |
2.8μm |
3.2μm |
Z 重现性 |
2.5μm |
3.0μm |
3.5μm |
XY 加速度 |
1000mm/S2 |
Z 加速度 |
500mm/S2 |
XY 移动速度 |
500mm/s |
Z 移动速度 |
150mm/s |
光学尺解析度 |
0.1μm |
影像 |
黑白 |
彩色 |
黑白 |
彩色 |
黑白 |
彩色 |
光源 |
红光LED |
白光LED |
红光LED |
白光LED |
红光LED |
白光LED |
照明系统 |
表面光, 轮廓光,同轴光 |
光学系统/放大倍率 |
12x 光学/2.5x 数位 Zoom / 15x~1200x 放大倍率 |
软体 |
InSpec for Windows Metrology Software(2000/XP/Vista) |
工作环境 |
20℃(68℉)±2°,30-80%湿度 |
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