技术参数：
探头A
探头B
工作距离
11mm
19mm
量程
±190um
±1700um
最大倾角
±28°
±21°
光斑尺寸
10um
20um
分辨率
10nm
40nm
精度
±0.02%F.S.
最小厚度测量
12um
66um
最大厚度测量
511um
5098um
电动台参数：
XY平台
驱动
直线磁轴电机
平台大小
220X230mm
XY方向行程
100X100mm
0.05μm
重复定位精度
<1μm
最大允许负重
2Kg
扫描速度
≤80mm/s
扫描间距
≥0.5μm
电气特性
控制器（专用电脑）额定输入
100-240V AC 5.3A 50/60Hz
驱动器（专用机箱）额定输入
48V DC 2.1A
传感器输入
24V DC 3A